三氯化铁蚀刻控制器

SH-9200控制主机	酸性蚀刻取样槽

根据药液比重增大浮力增大, 比重减小浮力减小的原理当药液中铜离子含量增加或减小时, 药液的浮力也会变大或减小, 浮力的变化使重量一定的浮球上升或下降, 浮球的升降会发生位置变化,感应器将其位能变化量转换为电讯号传递给控制器, 控制器根椐电讯号判断药液比重的大小, 进行三氯化铁添加来控制比重.

2、盐酸感测器(HCL  SENSOR): 电磁式(电能+动能→电能)

根据电磁感应原理: 当电流通过传感器线圈时, 会产生磁束(磁力线).该磁束会依药液中盐酸的离子浓度而产生一定比例电流, 再将此电流变化量加以数字化, 并转换为电讯号传给控制器, 控制器根据电信号判断药液中盐酸的离子浓度是否正常, 而进行控制盐酸添加.

3、氧化剂感测器(NaCLO3  SENSOR): 电解式(电能→电能)

●H2O2(双氧水)或氯酸钠之概念及测定原理

      双氧水的氧化性很强，在氯化亚铜氧化为氯化铜的过程中，能增加蚀刻的速度，就再生剂而言，其扮演着很重要的角色。虽然，空气中的氧也会产生再生反应，但是，一旦生产量增加时，氧的再生速度就来不及，所以为了促进蚀刻速度，作为氧化剂的双氧水或氯酸钠是不可缺少的。氧化剂传感器，是将氧化剂做为蚀刻液再生反应的促进剂。在最小需要量下，控制最适当的蚀刻液浓度。因蚀刻速度的安定化和使用量的减少，可大幅提高质量、降低成本。

     基于这样的参考量，本再生控制器并不是管理氧化剂，而是检测出蚀刻药液的蚀刻能力；一方面用最少的氧化剂来补足蚀刻液中，由氧气(O2)再生的不足部份，一方面维持蚀刻生产的稳定性。
●双氧水传感器的测定原理

      铜棒点在蚀刻液中反应时，依据药液的浓度和蚀刻能力(蚀刻速度)会产生电荷量的变化。氧化剂传感器会检测出所发生的电荷量(出力)，并传送到“SH-9200” 控制主机。“SH-9200”控制器再将氧化剂浓度和蚀刻速度等的相关资料入力；双氧水传感器所得到的出力在控制器上计算并显示。其单位不是MOL/L(浓度)而是用MV来表示。

比重感测器	盐酸感测器	氧化剂感测器